Санкт-Петербург
(812) 326-59-24
Москва
(495) 980-64-06
Другие города

Мониторинг токсичных газов в полупроводниковом производстве (Тайвань)

Ведущая тайваньская полупроводниковая корпорация – производитель интегральных схем – имеет в своем составе несколько специализированных производственных предприятий, где осуществляются различные технологические процессы. Корпорация производит интегральные схемы разных типов: логические, аналоговые, смешанной обработки сигналов, высокого напряжения, низкопотребляющие, микросхемы на ТТЛ и КМОП-технологиях, flash-карты, модули встроенной памяти и т.д. Один из заводов корпорации производит порядка 55 тысяч 8-дюймовых кремниевых пластин в месяц.

В полупроводниковом производстве используются различные химические реагенты и технологические газы, которые могут быть очень токсичными. Для обеспечения безопасности работников завода и жителей близлежащих территорий необходимо осуществлять постоянный мониторинг опасных газов. Необходимо также предоставлять отчеты системы мониторинга муниципальным и федеральным агентствам по экологическому контролю. Для решения этих задач на заводе было необходимо развернуть надежную отказоустойчивую коммуникационную сеть, по которой данные мониторинга могли бы передаваться в центр управления для контроля.

Мониторинг токсичных газов в полупроводниковом производстве (Тайвань)

Описание системы

Для мониторинга различных токсичных газов на заводе используются газоанализаторы CM4, а также шкафы мониторинга, осуществляющие сбор данных о температуре и давлении окружающей среды. Газоанализаторы мгновенно обнаруживают утечки газов. Сложность системы мониторинга на конкретном участке определяется тем, что каждый газоанализатор должен улавливать разные газы и реагировать на разное их количество в воздухе. Поскольку газоанализаторы распределены по различным участкам завода, необходимо было построить надежную сеть, где данные могли бы передаваться на большие расстояния и с высокой скоростью, и использовать коммуникационное оборудование, способное работать в жестких условиях эксплуатации.

Для коммуникационной сети завода была использована комбинация устройств MOXA UC-7408 и EDS-508-MM-SC. Встраиваемые компьютеры UC-7408 обеспечивают сбор данных с датчиков, а коммутаторы EDS-508-MM-SC формируют магистральную оптоволоконную коммуникационную сеть для связи всех устройств системы мониторинга и передачи данных в централизованную SCADA-систему. Резервирование сети реализовано по разработанной специалистами MOXA технологии Turbo Ring, обеспечивающей время перехода на резервный канал связи менее 300 мсек., что гарантирует исключительную надежность соединения. Немаловажным фактором в выборе коммутаторов MOXA было также наличие сертификатов взрывобезопасности Class 1, Div.2, что позволяет использовать их в опасных зонах, где имеются легковоспламеняющиеся вещества, газы и взвеси. Все эти особенности устройств MOXA позволили обеспечить максимальную эффективность заводской системы мониторинга токсичных газов.

Схема сети объекта 

Мониторинг токсичных газов в полупроводниковом производстве (Тайвань)

Преимущества, определившие выбор оборудования

  1. Технология резервирования сети Turbo Ring со временем восстановления соединения менее 300 мсек. и реле аварийной сигнализации позволяют минимизировать риск «падения» сети.
  2. Коммутаторы EDS-508 имеют сертификаты взрывобезопасности Class 1, Div.2, что гарантирует надежность их использования в тяжелых условиях завода.
  3. Встраиваемые компьютеры UC-7408 со специальным программным обеспечением обеспечивают удаленный многопользовательский доступ к COM-портам, что необходим для дублирования системы мониторинга.
  4. Функция отсылки оповещения о сбоях по e-mail обеспечивает операторов системы сообщениями об авариях в режиме реального времени.
  5. Коммутаторы EDS-508 оснащены двумя входами питания.
  6. Безвентиляторное исполнение и длительный срок наработки на отказ повышают надежность коммутаторов.

 

Оборудование MOXA

 

EDS-508-MM-SC (эквивалентен EDS-508A-MM-SC )

  • Резервирование сети по кольцевой топологии или RSTP/STP
  • Оповещения об авариях по e-mail или через релейный выход
  • Поддержка функций Port Trunking, VLAN, QoS, IGMP Snooping, обеспечивающих максимальную производительность Ethernet-сети
  • Поддержка расширенного температурного диапазона -40 ~ +75°C (T-модели)
  • Простота управления через web-интерфейс, Telnet или последовательную консоль
 

UC-7408

  • Процессор Intel XScale IXP-422 266 МГц
  • Последовательный порт, Ethernet, 8 цифровых входов, 8 цифровых выходов, компактный корпус
  • Защищенное промышленное исполнение

Используемые товары

  • 1 083.87 у.е.
    73 984.97  руб.
    В наличии
    • Санкт-Петербург
      8 шт.
    • Москва
      6 шт.
  • 629.89 у.е.
    42 996.29  руб.
    В наличии
    • Санкт-Петербург
      2 шт.
Распродажа
Оформить заказ